(1) 特別提示:這種技術(shù)能適用于各種物鏡放大率。
?。?)最后以設(shè)計(jì)一個(gè)普通的攝像物鏡為例,演示了矩陣光學(xué)在設(shè)計(jì)變焦距鏡頭中的應(yīng)用。
?。?) 新型FCT三片式也使用多層鍍膜螢石物鏡以獲得最大的通光量。
(4) 針對(duì)物鏡筒注塑件,設(shè)計(jì)了一種內(nèi)收式二瓣牙內(nèi)螺紋模具結(jié)構(gòu)。
?。?) 購(gòu)買(mǎi)的成本是非常,非常低的,而實(shí)際上,顯微鏡上的物鏡,我們用來(lái)觀看原子圖像的非常強(qiáng)大的鏡頭,也都從CD播放機(jī)拆下來(lái)的。
?。?) 該物鏡與國(guó)內(nèi)外現(xiàn)有的紫外或深紫外光刻物鏡相比,既能滿足大數(shù)值孔徑的需要,又能充分利用物鏡的視場(chǎng)。
?。?) 系統(tǒng)由光源、光闌和聚光鏡、標(biāo)尺光柵、顯微物鏡及CMOS電子目鏡組成,光柵圖像進(jìn)入PC機(jī),采用軟件進(jìn)行細(xì)分。
?。?) 該物鏡紅外透過(guò)率高、相對(duì)孔徑大、分辨率較高。
(9) 該物鏡具有較高的理論分辨本領(lǐng),且可以簡(jiǎn)單方便地實(shí)現(xiàn)CTEM與STEM工作模式間的轉(zhuǎn)換。
(10) 從光的衍射理論和幾何成象理論出發(fā),分析研究了顯微物鏡焦平面附近小孔光欄的衍射和象平面位置上的成象。
?。?1) 另一樣令我不解的是為何賓得不給物鏡也配上鏡頭蓋呢?
?。?2) 以一典型里斯特物鏡為例,討論了入射光束參數(shù),物鏡的孔徑衍射及殘余象差對(duì)聚焦光斑的影響等問(wèn)題。
?。?3) 必須合理地確定光源的光束口徑與光盤(pán)物鏡孔徑比值,才能保證其光能量耦合效率,并獲得較小的光斑尺寸和合理的焦深。
?。?4) 被測(cè)物鏡有初級(jí)象散時(shí)確定焦點(diǎn)位置的方法,并給出了測(cè)量結(jié)果。
(15) 在高數(shù)值孔徑、低工藝因子的光刻技術(shù)中,投影物鏡彗差對(duì)光刻質(zhì)量的影響變得越來(lái)越突出,因而需要一種快速、高精度的彗差原位測(cè)量技術(shù)。
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